吸附墊的應用

吸附墊，主要用于半導體硅晶體材料，寶石晶體片，硅片外延片等產品的單面拋光，屬于電子材料 的拋光裝置。這是一種圓形的、由多層樹脂材料組成的復合結構、硅片用水(或研磨液)粘貼在鑲嵌層圓孔內的吸附膜上。采用本實用新型，可對硅片，藍寶石進行無蠟拋光，其表面總厚度變化小于6μm，省時、省力，本實用新型制造簡單、成本低。
無蠟拋光模板在化學機械拋光製程中用于對晶片的固定;無蠟工藝在加工成本、生產效率都較有蠟工藝有更大的優勢。長期以來，新光速致力于研發新的工藝技術，生產新型行業使用的材料，降低客戶的生產成本，無蠟墊作為新光速主推產品，為客戶節約了大量 的采購成本，目前新光速提供的無蠟拋光墊是國內少有的可以與國外產品競爭的產品，藍寶石襯底拋光是一個成熟的產業，受制于昂貴的無蠟墊等各類耗材成本，而價格高企，而目前許多數客戶都已開始使用新光速提供的無蠟墊，節約了采購成本和產品成本，不再受制于國外廠商，新光速所生產銷售的無蠟模板可以根據客戶拋盤大小定製;新型無蠟拋光模板采用高硬度模板框架,在藍寶石晶片拋光應用的競爭力超越其他廠家的模板